SCROLLVAC SC-D干式压缩真空泵是按照涡旋式压缩机的工作原理运行,每台泵集成了2个阿基米德螺旋螺杆,通过减小凹槽的容积,并将气体从外向里压缩产生真空
1、SC系列真空泵特点:
·可以提供抽速为5,15和30m3/h的3款产品SC5/15/30D;
·高真空,低可达0.01mbar;
·低噪声;
·低振动;
·允许进气压力大;
·重量轻;
·能耗低;
2、应用范围:
·电子束焊接;
·激光;
·检漏系统;
·加速器/同步加速器;
·表面分析仪;
·STM’s;
·ELMI;
·小型涡轮泵组;
·搬送室;
基本参数:
技术参数表[50Hz] | SCROLLVAC SC D | |||
| SC 5D | SC 15D | SC 30D | SC 60D |
抽气速率[m³/h] | 5.4 | 1.3 | 3.4 | 4.8 |
大压力差[mbar] | ≤5*10-2 | ≤1.5 | ≤1.0 | ≤2 |
电机功率[KW] | 1.5 | 2.5 | 2.5 | 3.5 |
进气口径[mm] | 3 |